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| 型号 | VMS2010 | VMS3020 | VMS4030 | VMS5040 |
| 主机体尺寸 | 600×500×850 mm | 850*600*900mm | 900*450*850mm | 1020*550*900mm |
| 金属台尺寸 | 340*250 mm | 450*350mm | 560*460mm | 660*560 |
| 玻璃台尺寸 | 240*140 mm | 340*240mm | 430*330mm | 530*430 |
| 实际工作行程 | 200*100*200mm | 300*200*150mm | 400*300*200mm | 500*400*200mm |
| 主机体重量 | 110kg | 200kg | 250kg | 300kg |
| 机台底坐 | 00级花岗石 | |||
| 线性精度 | （3+L/75）µm | |||
| 表面照明 | LED环形超亮冷光源（亮度可调） | |||
| 轮廓照明 | LED超亮圆形灯（亮度可调） | |||
| 计算测量功能 | VMM2.2C精密测量系统软件 | |||
| 解析力 | 0.001mm | |||
| 重复精度 | 0.003mm | |||
| CCD | SONY芯片，1/3”彩色CCD | |||
| 目镜 | 0．5X（可选配1X,2x） | |||
| 物镜 | 0．7X～4.5X 放大倍数20X～120X | |||
| 电源供应器 | AC90～264V 50/60Hz | |||
| 载重 | 30KG | |||
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